使用二氧化矽/氮化矽光波導埋藏層和三五族晶圓鍵合技術的多波長和超高速(400G)矽晶光子積體迴路(1/3)

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/08/15 → 31/07/16

Keywords

  • Silicon photonic
  • wafer-bonding
  • electro-absorption modulated laser
  • photodiode