以即時製程監控關鍵技術進行電漿輔助化學氣相沉積設備開發及製程最佳化

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期1/06/1531/05/16

指紋

探索此專案觸及的研究主題。這些標籤是根據基礎獎勵/補助款而產生。共同形成了獨特的指紋。