以即時製程監控關鍵技術進行電漿輔助化學氣相沉積設備開發及製程最佳化

研究成果

每年研究成果 2017 2017 2017

• 1 期刊論文

每年研究成果

每年研究成果

搜尋結果

• 2017

  Structural and electrical investigations of a-Si:H(i) and a-Si:H(n+) stacked layers for improving the interface and passivation qualities

  Hsieh, Y. L., Lee, C. C., Lu, C. C., Fuh, Y. K., Chang, J. Y., Lee, J. Y. & Li, T. T., 1 7月 2017, 於: Journal of Photonics for Energy. 7, 3, 035503.

  研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

  • Passivation 100%
  • Carrier lifetime 87%
  • passivity 76%
  • Spectroscopic ellipsometry 49%
  • Plasma enhanced chemical vapor deposition 39%
  3 引文 斯高帕斯（Scopus）