每年研究成果
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研究領域
IC半導體技術及製程整合
與 UN SDG 相關的專業知識
聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG)，以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此人的作品有助於以下永續發展目標：
指紋
查看啟用 Ting-Tung Li 的研究主題。這些主題標籤來自此人的作品。共同形成了獨特的指紋。
- 1 類似的個人檔案
過去五年中的合作和熱門研究領域
國家/地區層面的近期外部共同作業。按一下圓點深入探索詳細資料，或
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A Machine Learning Study to Obtain an Optimal Processing Pulsed Frequency on Reactive Pulsed DC Sputtering of Aluminum Nitride Films
Tseng, X. L., Chen, Y. S., Chen, H. F., Lo, H. H., Wang, P. J., Dai, Y. M., Fuh, Y. K. & Li, T.-T., 2024, 2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits, CSTIC 2024. Claeys, C., Zhang, B., Yu, B., Huang, R., Li, X., Liang, S. X., Tang, J., Lung, H.-L., Pang, L., Qian, W., Qu, X., Shi, X. & Zhang, Y. (編輯). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., (2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits, CSTIC 2024).研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
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Wire-arc spray directed energy deposition: Correlation of chamber kits refurbishing and particle defects reduction in Ta/TaN thin-film physical deposition processes
Yang, S. S., Lai, H. L., Chen, C. C., Lu, S. T., Dai, Y. M., Cheng, W. C., Fuh, Y. K. & Li, T.-T., 1 5月 2024, 於: Journal of Materials Research and Technology. 30, p. 2754-2767 14 p.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
開啟存取 -
Acoustic Performance of Stress Gradient-Induced Deflection of Triangular Unimorphic/Bimorphic Cantilevers for MEMS Applications
Yuan, N. H., Chen, C. C., Fuh, Y. K. & Li, T. T., 3月 2023, 於: Materials. 16, 5, 2129.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
開啟存取1 引文 斯高帕斯（Scopus） -
A multi-step deposited AlN films in a DC pulsed sputtering and film characteristics classification with principal component analysis of OES data
Chen, W. L., Zhou, W. Y., Yuan, N. H., Yang, S. S., Wang, P. J., Lo, H. H., Li, T. T. & Fuh, Y. K., 7月 2023, 於: International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 127, 5-6, p. 2955-2967 13 p.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
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Impact of Pulse Parameters of a DC Power Generator on the Microstructural and Mechanical Properties of Sputtered AlN Film with In-Situ OES Data Analysis
Zhou, W. Y., Chen, H. F., Tseng, X. L., Lo, H. H., Wang, P. J., Jiang, M. Y., Fuh, Y. K. & Li, T. T., 4月 2023, 於: Materials. 16, 8, 3015.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
開啟存取3 引文 斯高帕斯（Scopus）