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查看斯高帕斯 (Scopus) 概要
李 天錫
教授
機械工程學系
https://orcid.org/0000-0002-2493-7602
電子郵件
benlee
ncu.edu
tw
網站
https://www.me.ncu.edu.tw/Faculty/faculty-more.php?id=40
h-index
978
引文
14
h-指數
按照存儲在普爾(Pure)的出版物數量及斯高帕斯(Scopus)引文計算。
1996 …
2024
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6
會議論文
2
評論/辯論
1
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每年研究成果
每年研究成果
6結果
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出版年份,標題
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類型
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會議論文
搜尋結果
2005
A nano-thick SOI fabrication method
Huang, C. H., Cheng, J. T., Hsu, Y. K., Chang, C. L., Wang, H. W.,
Lee, S. L.
&
Lee, T. H.
,
2005
,
p. 431-438
.
8 p.
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
Fabrication Methods
100%
Device Wafer
100%
Thick SOI
100%
Fabrication Method
100%
Silicon
100%
Thermal-microwave hybrid SOI materials technology
Cheng, J. T., Huang, C. H., Hsu, Y. K., Chang, C. L., Wang, H. W., Gan, G.,
Lee, S. L.
&
Lee, T. H.
,
2005
,
p. 414-423
.
10 p.
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
Materials Technology
100%
Microwave Hybrid
100%
SOI Material
100%
Bonding Strength
100%
Device Wafer
100%
1
引文 斯高帕斯(Scopus)
1999
Wafer bonding for microsystems technologies
Gösele, U., Tong, Q. Y., Schumacher, A., Kräuter, G., Reiche, M., Plößl, A., Kopperschmidt, P.,
Lee, T. H.
& Kim, W. J.,
20 4月 1999
,
於:
Sensors and Actuators, A: Physical.
74
,
1
,
p. 161-168
8 p.
研究成果
:
雜誌貢獻
›
會議論文
›
同行評審
Wafer Bonding
100%
Microsystems Technology
100%
Microsystem
100%
Silicon
100%
Silicon Wafer
100%
77
引文 斯高帕斯(Scopus)
1997
Low temperature Si layer splitting
Tong, Q. Y.,
Lee, T. H.
, Huang, L. J., Chao, Y. L. & Gosele, U.,
1997
,
p. 126-127
.
2 p.
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
Low Temperature
100%
Si Wafer
100%
Si Layer
100%
Blister
100%
Layer Splitting
100%
5
引文 斯高帕斯(Scopus)
Semiconductor layer transfer by anodic wafer bonding
Lee, T. H.
, Ton, Q. Y., Chao, Y. L., Huang, L. J. & Goesele, U.,
1997
,
p. 40-41
.
2 p.
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
Anodic
100%
Wafer Bonding
100%
Layer Transfer
100%
Anodic Bonding
100%
Semiconductor Layer
100%
1996
Feasibility study of VLSI device layer transfer by CMP PETEOS direct bonding
Tong, Q. Y.,
Lee, T. H.
, Kim, W. J., Tan, T. Y., Goesele, U., You, H. M., Yun, W. & Sin, J. K. O.,
1996
,
p. 36-37
.
2 p.
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
Oxides
100%
Layer Transfer
100%
Device Layer
100%
Direct Bonding
100%
Chemical Mechanical Polishing
100%
16
引文 斯高帕斯(Scopus)