Shao-Liang Cheng

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2004
Formation of epitaxial β-FeSi₂ nanodots array on strained Si/Si_0.8Ge_0.2 (001) substrate
Chen, H. C., Liao, K. F., Lee, S. W., Cheng, S. L. & Chen, L. J., 2 8月 2004, 於: Thin Solid Films. 461, 1, p. 44-47 4 p.
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8 引文斯高帕斯（Scopus）
Growth of SiO_x nanowires on self-assembled hexagonal Au particle networks
Chiang, T. F., Cheng, S. L. & Chen, L. J., 2004, 於: Materials Research Society Symposium - Proceedings. 818, p. 271-275 5 p.
研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審
Solid phase reactions between Fe thin films and Si-Ge layers on Si
Yu, C. H., Chueh, Y. L., Lee, S. W., Cheng, S. L., Chen, L. J., Chou, L. J. & Cheng, L. W., 2 8月 2004, 於: Thin Solid Films. 461, 1, p. 81-85 5 p.
研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審
3 引文斯高帕斯（Scopus）
2003
Effects of stress on the interfacial reactions of metal thin films on (0 0 1)Si
Cheng, S. L., Lo, H. M., Cheng, L. W., Chang, S. M. & Chen, L. J., 22 1月 2003, 於: Thin Solid Films. 424, 1, p. 33-39 7 p.
研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審
5 引文斯高帕斯（Scopus）
2000
Formation of Ni silicides on (001)Si with a thin interposing Pt layer
Cheng, L. W., Cheng, S. L., Chen, L. J., Chien, H. C., Lee, H. L. & Pan, F. M., 7月 2000, 於: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 18, 4 I, p. 1176-1179 4 p.
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37 引文斯高帕斯（Scopus）
Strategy of future ULSI metallization
Chen, L. J., Cheng, S. L. & Cheng, L. W., 2000, 於: Advanced Metallization Conference (AMC). p. 41-52 12 p.
研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審
1999
Effects of nitrogen ion implantation on the formation of nickel silicide contacts on shallow junctions
Cheng, L. W., Cheng, S. L., Chen, J. Y., Chen, L. J. & Tsui, B. Y., 1 11月 1999, 於: Thin Solid Films. 355, p. 412-416 5 p.
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36 引文斯高帕斯（Scopus）
Enhanced formation of low-resistivity TiSi₂ contacts for deep submicron devices
Chen, L. J., Cheng, S. L. & Chang, S. M., 5月 1999, 於: Bulletin of Materials Science. 22, 3, p. 391-397 7 p.
研究成果: 雜誌貢獻 › 會議論文 › 同行評審

開啟存取
Formation of TiSi₂ thin films on stressed (001)Si substrates
Cheng, S. L., Huang, H. Y., Peng, Y. C., Chen, L. J., Tsui, B. Y., Tsai, C. J., Guo, S. S., Yang, Y. R. & Lin, J. T., 4月 1999, 於: Applied Surface Science. 142, 1, p. 295-299 5 p.
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5 引文斯高帕斯（Scopus）
Silicide contacts for sub-0.25 μm devices
Chen, L. J., Cheng, S. L., Chang, S. M., Peng, Y. C., Huang, H. Y. & Cheng, L. W., 1999, 於: Materials Research Society Symposium - Proceedings. 564, p. 123-134 12 p.
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2 引文斯高帕斯（Scopus）
The influence of stress on the growth of titanium silicide thin films on (001) silicon substrates
Cheng, S. L., Chang, S. M., Huang, H. Y., Peng, Y. C., Chen, L. J., Tsui, B. Y., Tsai, C. J. & Guo, S. S., 1999, 於: Materials Research Society Symposium - Proceedings. 564, p. 9-14 6 p.
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1996
Effects of size and shape of lateral confinement on the formation of NiSi₂, CoSi₂, and TiSi₂ on silicon inside miniature size oxide openings
Chen, L. J., Yew, J. Y., Cheng, S. L., Chen, K. M., Nakamura, K. & Tsui, B. Y., 1996, 於: Materials Research Society Symposium - Proceedings. 427, p. 499-504 6 p.
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2 引文斯高帕斯（Scopus）

鄭 紹良

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