Lin I – 研究成果 — 國立中央大學

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1983
HIGH RATE MAGNETRON ION ETCHING FOR SILICON DEVICES.
Lin, I., Hinson, D. C., Class, W. H., Stander, R., Hill, M. & Vanden Bossche, W., 8月 1983.
研究成果: 會議貢獻類型 › 會議論文 › 同行評審
MAGNETRON ENHANCED REACTIVE ION ETCHING OF SiO//2 AND Si.
Lin, I., Hinson, D. C., Class, W. H., Sandstrom, R. L. & Pasierb, F., 1983, p. 132-142. 11 p.
研究成果: 會議貢獻類型 › 會議論文 › 同行評審

7 引文斯高帕斯（Scopus）