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奈米光電元件,半導體光電元件,電子束微影,電漿光譜監控
與 UN SDG 相關的專業知識
聯合國會員國於 2015 年同意 17 項全球永續發展目標 (SDG)，以終結貧困、保護地球並確保全體的興盛繁榮。此人的作品有助於以下永續發展目標：
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過去五年中的合作和熱門研究領域
國家/地區層面的近期外部共同作業。按一下圓點深入探索詳細資料，或
專案
- 6 已完成
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Evolution of a-Si:H to nc-Si:H transition of hydrogenated silicon films deposited by trichlorosilane using principle component analysis of optical emission spectroscopy
Wang, S. H., Chang, H. E., Lee, C. C., Fuh, Y. K. & Li, T. T., 15 1月 2020, 於: Materials Chemistry and Physics. 240, 122186.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
11 引文 斯高帕斯（Scopus） -
Correlation of impedance matching and optical emission spectroscopy during plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon thin films
Kau, L. H., Huang, H. J., Chang, H. E., Hsieh, Y. L., Lee, C. C., Fuh, Y. K. & Li, T. T., 1 5月 2019, 於: Coatings. 9, 5, 305.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
開啟存取1 引文 斯高帕斯（Scopus） -
Large-scale data analysis of PECVD amorphous silicon interface passivation layer via the optical emission spectra for parameterized PCA
Huang, H. J., Kau, L. H., Wang, H. S., Hsieh, Y. L., Lee, C. C., Fuh, Y. K. & Li, T. T., 17 3月 2019, 於: International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 101, 1-4, p. 329-337 9 p.研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
7 引文 斯高帕斯（Scopus） -
Plasma process optimization of silicon film deposition from trichlorosiliane precursor with OES monitoring
Lee, C. C., Wang, S. H., Chang, H. E., Fuh, Y. K., Li, T. T., Chiou, Y. H. & Cheng, H. C., 3月 2019, China Semiconductor Technology International Conference 2019, CSTIC 2019. Claeys, C., Huang, R., Wu, H., Lin, Q., Liang, S., Song, P., Guo, Z., Lai, K., Zhang, Y., Qu, X., Lung, H-L. & Yu, W. (編輯). Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 8755637. (China Semiconductor Technology International Conference 2019, CSTIC 2019).研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章 › 同行評審
1 引文 斯高帕斯（Scopus） -
Improved process stability on an extremely thin amorphous/crystalline silicon interface passivation layer by using predeposition on the chamber wall
Hsieh, Y. L., Tseng, C. L., Lee, C. C., Fuh, Y. K., Chang, J. Y., Lee, J. Y. & Li, T. T., 2018, 於: ECS Journal of Solid State Science and Technology. 7, 8, p. P355-P361研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
3 引文 斯高帕斯（Scopus）