超低功耗節能電子元件與鐵電記憶體的相變科學及其應用於人工智慧之 技術突破

Project Details

StatusActive
Effective start/end date1/12/1831/12/21

Keywords

  • Ferroelectric FETs;FinFETs;GAA/NW/NS;low-k spacer; Negative capacitance